在微電子、光電子器件生產過程中,從芯片生長到最后器件的封裝,幾乎每一步、每一個環(huán)節(jié)都離不開電子氣體,因此電子氣體被稱為半導體材料的“糧食”和“源”。電子氣體成本占IC材料總成本的5%-6%,雖然看似占比不大,但是很大程度上決定了半導體器件性能的好壞。電子氣體純度每提高一個數量級,都會極大地推動半導體器件質的飛躍。

電子特氣行業(yè)的技術壁壘。

一是深度提純技術難度較大。以硅烷為例,將其純度由4N提純到6N中間有漫長的道路,除了要解決普通氣態(tài)雜質的純化問題,還要將金屬元素凈化到10-9級和10-12級。二是包裝和儲運跟不上。超高純氣體的生產和應用都要求使用高質量的氣體包裝儲運容器、相應的氣體輸送管線、閥門和接口,以避免二次污染的發(fā)生。三是分析檢驗觀念落后。國內對電子氣體生產應用領域分析檢測技術的研究開發(fā)工作不夠重視。

目前部分產品已經獲突破,國產化率在30%。

目前國內在高純硅烷、高純氨、高純笑氣、氖氣等已經突破,高純CL2、高純砷烷和高純鍺烷等也突破在即。半導體8英寸上的特種氣體國產化率已經達到30%以上。但本土電子氣體的生產和供應商規(guī)模較小,不能夠為用戶提供全方位的服務,目前大多通過低價競爭的方式占領一點市場份額,利潤很薄,甚至虧損。且知識產權的保護形同虛設。

電子特氣重點上市公司有南大光電和巨化股份。

電子特氣行業(yè)從業(yè)者較多,主要的參與者有中船重工第七一八研究所、南大光電、巨化股份、中昊光明化工、洛陽黎明化工、佛山華特氣體、綠菱電子和大連科利德等。其中南大光電和巨化股份是上市公司,南大光電已形成了35噸高純磷烷、15噸高純砷烷的生產能力。巨化股份計劃投資10.75億元,建設高純電子氣體項目(一期)高純電子氣體項目(二期)含氟特種氣體項目。

譜源氣體為滿足廣大客戶需求，專業(yè)供應各種電子特氣（電子級六氟化硫，電子級一氧化碳，高純氫、一氧化氮、三氟化氮、氯化氫等等）